具有多种配置，满足不同用户需求
独家不更换光学镜片升级为飞秒激光剥蚀系统
独家支持SEM图片导入
独有改进型HELEX双气路双体积样品池
独家具有fire-on-fly功能
脉宽4ns/20ns的193nm气态准分子激光
剥蚀频率高达300/100/20HZ
最高能量密度15 J/cm2/45J/cm2
30种圆形/方形/菱形剥蚀斑点1pm-500Mm超大范围
同类产品最大Z轴行程50mm，步进分辨率<0，1pm