最稳定的飞秒激光源
最高冲洗效率的HELEX双体积样品池
最人性化的操作软件
波长：200nm/263nm 可选
激光能量：100uJ; > 1-50+ nm剥蚀斑点
HELEX双体积样品池
内置SEM功能的操作软件
内置fire-on-fly功能